ASTM F1708-2002 使用仪表-区域提纯器光谱法评定粒状多晶硅的标准实施规范

作者:标准资料网时间:2024-05-15 07:38:46 浏览:9570 来源:标准资料网

【英文标准名称】:StandardPracticeforEvaluationofGranularPolysiliconbyMeter-ZonerSpectroscopies
【原文标准名称】:使用仪表-区域提纯器光谱法评定粒状多晶硅的标准实施规范
【标准号】:ASTMF1708-2002
【标准状态】:作废
【国别】:
【发布日期】:2002
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(US-ASTM)
【起草单位】:F01.06
【标准类型】:(Practice)
【标准水平】:()
【中文主题词】:
【英文主题词】:granularpolysilicon;polycrystallinesilicon;polysiliconconsolidation;polysiliconevaluation;polysiliconimpurities;NumberCode71.040.50(Physicochemicalmethodsofanalysis)
【摘要】:ThisstandardwastransferredtoSEMI(www.semi.org)May20031.1Thispracticedescribesaproceduretoconsolidategranularpolysiliconintoasolidrodandthentoconvertthepolysiliconrodintoasinglecrystalbyafloat-zonetechnique.Th
【中国标准分类号】:L10
【国际标准分类号】:71_040_50
【页数】:5P.;A4
【正文语种】:

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